美國Transcell壓力傳感器的常用定義及安裝指南
美國Transcell壓力傳感器的原理和應(yīng)用領(lǐng)域
傳感器是將各種非電量(包括物理量、化學(xué)量、生物量等)按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成便于處理和傳輸?shù)牧硪环N物理量 (一般為電量)
的裝置。傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件和測量電路三部分組成,有時(shí)還需外加輔助電源。 傳感器如以下方框圖所示。
方框圖:
制造半導(dǎo)體壓力傳感器的基本原理是利用硅晶體的壓阻效應(yīng)。單晶硅材料在受到應(yīng)力作用后,其電阻率發(fā)生明顯變化,這種現(xiàn)
象稱為壓阻效應(yīng)。
壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴(kuò)散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時(shí),電導(dǎo)率是同性的,只
有受定向應(yīng)力時(shí)才表現(xiàn)出各向異性,由于應(yīng)力能引 起能帶的變化,能谷能量移動(dòng),導(dǎo)致電阻率的變化,于是就有電阻的變化,
從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴(kuò)散硅目的在于在設(shè)計(jì) 制造壓力傳感器時(shí)可根據(jù)不同溫度下硅
擴(kuò)散層的壓阻特性選擇合適的擴(kuò)散條件,力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途,可作為微結(jié)構(gòu)
和填充材料、敏感材料。
壓力傳感器按用途分類主要是壓力監(jiān)視、壓力測量和壓力控制及轉(zhuǎn)換成其他量的測量。按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感
器,前者是被動(dòng)供電的,需要有外電源。后者是傳感器自身產(chǎn)生電荷,不需要外加電源,根據(jù)不同領(lǐng)域?qū)毫y量的精度不同
分為低精度和高精度的壓力傳感器。
美國Transcell壓力傳感器主要有以下參數(shù)
1、量程Capacity
2、靈敏度Rated output
3、非線性Non-linearity
4、重復(fù)性Repeat ability
5、蠕變Creep
6、滯后Hysteresis
7、零點(diǎn)輸出zero balance
8、輸入阻抗Input resistance
9、輸出阻抗Output resistance
10、絕緣阻抗Insulation impedance
11、工作溫度范圍Operation Temp range
12、溫度補(bǔ)償范圍Compensated temp range
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美國Transcell壓力傳感器的常用定義及安裝指南
美國Transcell壓力傳感器的常用定義
◆標(biāo)準(zhǔn)壓力:以大氣壓為標(biāo)準(zhǔn)表示的壓力大小。大于大氣壓的叫正壓;小于大氣壓的叫負(fù)壓。
◆差壓(壓差):兩個(gè)壓力之間的相對差值。
◆絕對壓力(A):以絕對真空為標(biāo)準(zhǔn)表示的壓力大小。
◆相對壓力(表壓力)(G):相對于標(biāo)準(zhǔn)壓力而言。表壓力=絕對壓力-大氣壓。
◆大氣壓:指地球表面上的空氣柱因重力而產(chǎn)生的壓力。它和所處的海拔高度、緯度及氣象狀況有關(guān)。1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(1atm)相
當(dāng)于高度為760mm水銀柱的壓力。
◆真空:指低于大氣壓的壓力狀態(tài)。1Torr=1/760氣壓(atm)。
美國Transcell壓力傳感器的安裝指南
◆安裝前請仔細(xì)閱讀產(chǎn)品使用說明書,并核對產(chǎn)品的相關(guān)信息。
◆傳感器應(yīng)安裝在通風(fēng)、干燥、無蝕、陰涼處,如露天安裝應(yīng)加防護(hù)罩,避免因陽光照射和雨淋影響產(chǎn)品的正常使用。
◆安裝時(shí)忌強(qiáng)力沖擊、棒打。
◆按正確接線方式接線,同時(shí)注意保護(hù)傳感器的引出線。
◆清潔傳感器壓力接口和引壓孔時(shí),應(yīng)使用三氯乙烯或酒精注入引壓孔中,并輕輕晃動(dòng),再將液體倒出,反復(fù)多次。
◆禁止使用任何堅(jiān)硬器具伸入引壓孔中,以免損傷敏感芯體。
相關(guān)傳感器資料如下:
壓力傳感器的原理和類型
美國傳力Transcell
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